Monolage
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Eine Monolage ist eine für Deposition oder Ablation auf kristalline Oberflächen verwendete Einheit der Dimension Anzahl/Fläche. Sie ist definiert als 1 Atom pro Einheitszelle der Oberfläche, bezogen auf das Substrat.
Je nach Atomgröße sind dies 1014 - 1015 Atome pro cm².