Standardkubikzentimeter
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sccm steht für Standardkubikzentimeter pro Minute und stellt einen normierten Volumenstrom dar. In der Vakuumpumpentechnik spricht man auch von der Gaslast. Unabhängig von Druck und Temperatur wird mit dieser Norm eine definierte strömende Gasmenge (Teilchenzahl) pro Zeiteinheit erfasst. Der allgemeine Gasstrom Q ist wie folgt definiert:
Ein sccm ist ein Gasvolumen von V = 1 cm3 = 1 ml unter Normbedingung ( T = 20 °C und p = 1013,25 hPa ).
Siehe auch: Thermische Zustandsgleichung idealer Gase