פוטוליתוגרפיה
מתוך ויקיפדיה, האנציקלופדיה החופשית
פוטוליתוגרפיה היא טכנולגיה המשמשת בתעשיית המיקרואלקטרוניקה לייצור מעגלים מודפסים ומעגלים משולבים. בתעשיית המיקרומכניקה הפוטוליטוגרפיה משמשת לחיתוך צורני מרדיד מתכת שיטת ייצור הנקראת חיתוך כימי.
בטכנולוגיה זו ניתן להגיע להדפסה של קווים בעובי של 60 ננומטר. בצורה זו ניתן לדחוס בתוך שבב יותר מעשרה מליוני טרנזיסטורים.
בטכנולוגיה חיתוך כימי ניתן לקבל רדיד צורתי בדיוק של פחות מ-500 ננומטר ובכל צורה רצויה. התוצר בשיטה מאפשר חיתוך לכל עומק הרדיד או חיתוך חלקי שיוצר שקעים צורניים ברדיד בעומק רצוי. שילוב של שיטת היצור חיתוך צורני ושיקוע צורני מאפשרת שיטת יצור של מעטפות צורתיות של גופים תלת ממדיים.
עקרונות הפוטוליתוגרפיה זהים למעשה לאלו של הליתוגרפיה.