Hafniumoxid
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| Strukturformel | ||
|---|---|---|
| Allgemeines | ||
| Name | Hafniumdioxid | |
| Andere Namen | Hafniumoxid, Hafnium(IV)-oxid | |
| Summenformel | HfO2 | |
| CAS-Nummer | 12055-23-1 | |
| Kurzbeschreibung | hochbrechendes Oxid des Hafniums, weißes bis dunkelgraues kristallines Pulver mit kubischer Kristallstruktur | |
| Eigenschaften | ||
| Molmasse | 210,49 g·mol-1 | |
| Aggregatzustand | fest | |
| Dichte | 9,68 g·cm-3 | |
| Schmelzpunkt | ~2750 °C | |
| Siedepunkt | 5400 °C | |
| Brechzahl | 1,95..2,00 | |
| Dampfdruck | ? Pa (? °C) | |
| Löslichkeit | unlöslich in Wasser | |
| Sicherheitshinweise | ||
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| R- und S-Sätze | R: 36-37-38 S: ? |
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| MAK | 0,5 mg·m-3 | |
| Soweit möglich und gebräuchlich, werden SI-Einheiten verwendet. Wenn nicht anders vermerkt, gelten die angegebenen Daten bei Standardbedingungen. | ||
Hafniumdioxid ist eine chemische Verbindung, die in der Halbleiterproduktion als High-k-Dielektrikum oder als Vergütungs- oder Spiegelmaterial in der optischen Industrie eingesetzt wird. Es besitzt eine hohe Härte, eine geringe Wärmeausdehnung und ist chemisch Zirkondioxid (ZrO2) sehr ähnlich.
