真空ポンプ
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真空ポンプ（しんくうポンプ、バキュームポンプ Vacuum pump）とは、容器内から気体を排出し、真空を得るためのポンプである。 一台で超高真空から大気圧までをカバーするのは非常に困難な為 多くは粗引きポンプ、メインポンプなどの組み合わせで使うが、 用途によって一台で済む場合は粗引き、メインなどの分類はしない。
どれだけの高真空を必要とするか、また排気する気体の成分によって、使用すべき真空ポンプは異なる。真空ポンプは、構造に油を用いるウェットポンプと、油を用いないドライポンプとに大別される。 一般的に、ウェットポンプは排気量、到達圧力、 価格などの総合面で優れた性能を持つ 油回転型真空ポンプ（ロータリーポンプ）が大きく普及している。 もっとも安価なものは手押し式であろうが、エアコンの冷媒注入用 として市販されている。
ドライポンプは油汚染を嫌う用途で使用されることが多いが、 吸着装置やアスピレータなどの低真空向けに安価なダイヤフラムポンプも かなり普及している。
真空ポンプの分類法としては更に容積移送式、運動量輸送式、気体溜め込み式 というような分類法もある。
目次 |
[編集] 具体的な真空ポンプ
[編集] ウェットポンプ
[編集] ドライポンプ
[編集] 関連項目
[編集] ポンプメーカー
- アルバック
- キヤノンアネルバ
