Fotoresist
Van Wikipedia
Een fotoresist is een materiaal dat onder invloed van UV-licht verandert:
- Een positief resist (PR) wordt oplosbaar onder invloed van licht; de afgedekte delen blijven over na het spoelen.
- Een negatief resist (NR) wordt net hard door licht; door de ontwikkelingsvloeistof worden de delen die zich achter het belichtingsmasker bevonden, weggespoeld.