Селективное травление
Материал из Википедии — свободной энциклопедии
Селективное травление — термин применяющийся для обозначения травления преимущественно одного материала по сравнению с другим, который обладаем гораздо меньшей скоростью травления. Применяется в полупроводниковой технологии см. например, реактивное ионное травление.