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净室

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NASA的無塵室

净室(Cleanroom台灣譯作無塵室潔淨室)是指一个具有低污染水平的环境,這裡所指的污染來源有灰尘,空气传播的微生物,悬浮颗粒,和化学挥发性气体。更准确地讲,一个净室具有一个受控的污染级别,污染级别可用每立方米的颗粒数,或者用最大颗粒大小来厘定的。 低级別的净室通常是没有经过消毒的(如没有受控的微生物),更多的是关心空气传播的灰尘。

作為生產設施,净室可以佔據廠房很多位置。净室被廣泛地應用在對環境污染特別敏感的行業,例如半導體生產、生化技術、生物技術等。


另看: 空氣過濾器

目录

[编辑] 凈室分類

資料來源: Rockwell Automation:

列表描述了在各級別凈室所需達到的每立方尺(美國標淮)或每立方米(ISO標准)最高可容許粒子數目:

[编辑] 美國聯邦凈室209E標准

每立方尺粒子數;
級別 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1 µm 5 µm
1 35 7 3 1    
10 350 75 30 10 1  
100 3500 750 300 100 10 1
1,000       1,000 100 10
10,000       10,000 1,000 100
100,000       100,000 10,000 1,000

備註: 此標准已于2001年11月29日取消 參考: http://www.iest.org/publctns/fedstd209.htm

[编辑] ISO 14644-1凈室標准

每立方米粒子數;
級別 0.1 µm 0.2 µm 0.3 µm 0.5 µm 1 µm 5 µm
ISO 1 10 2        
ISO 2 100 24 10 4    
ISO 3 1,000 237 102 35 8  
ISO 4 10,000 2,370 1,020 352 83  
ISO 5 100,000 23,700 10,200 3,520 832 29
ISO 6 1,000,000 237,000 102,000 35,200 8,320 293
ISO 7       352,000 83,200 2,930
ISO 8       3,520,000 832,000 29,300
ISO 9       35,200,000 8,320,000 293,000

[编辑] 凈室標准比較表

ISO 14644-1 美國聯邦標准209E
ISO 3 1
ISO 4 10
ISO 5 100
ISO 6 1,000
ISO 7 10,000
ISO 8 100,000

[编辑] 作為軟件工程的術語

净室也是應用在软件工程中的一个术语。


解釋1: 軟件工程涉及非常精準的功能設計,操作過程通過組員間的仔細審核,正如製造半導體晶片的凈室一樣,這個程序確保軟件的潛在問題得以儘早發現及修正。


解釋2: 在軟件的開發過程中,有時會動用多組獨立團隊進行功能驗證,團隊間的書面通訊一般由律師審閱,以防止侵犯版權行為,這種操作亦頗類似净室環境。

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