ロータリーポンプ
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ロータリーポンプ (Rotary Pump) は、回転する内部の板が気体をかき出すように排気する、真空ポンプの一種である。
最も一般的な真空ポンプであり、種類も多く価格も全体的に安価である。また、大気圧から作動させられるため超高真空が必要な際のチャンバーの粗引きや、背圧を維持するための補助ポンプとして使われる他、広く産業用に用いられている。到達真空度は 10-1 Pa (10-3 Torr) 程度。
油は密閉のために用いられているが、この油が真空装置には大敵となるため、高真空を要求される装置に接続する場合はフォアライントラップ(フィルタ)を挟む場合が多く、最近ではオイルフリーの物も開発されている。使用すると油は徐々に減っていくため、定期的に油を交換するメンテナンスが必要である。