NEMS（ネムスと読む。Nano Electro Mechanical Systems）は、主に半導体集積回路作製技術を用いて作製されたnmオーダーの機械構造を持つデバイスのことである。電子集積回路との集積化も可能である。 加工技術の微細化により、MEMSよりも小さな機械構造を作製できるようになり、NEMSの実現が可能となった。
材料としてはMEMSで使用されたものに加え、カーボンナノチューブやDNA、生体分子などが使用される。 今のところバイオやnano領域での計測、操作が主な応用先である。
MEMSデバイスの一部がnmオーダーの場合（例えばAFMのカンチレバーなど）でもNEMSと分類されることがある。
MEMSがマイクロマシンと呼ばれるのに対してNEMSはナノマシンと言われることがある。 しかし、ナノマシンは生体分子そのものやSF的な要素も含まれることがあるので、NEMSが持つ意味よりも広いと思われる。
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